图48 正压氦检设备布局

2）系统严格按照需方的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑需方的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性，并满足厂家指定技术指标。

3）设备基本指标如下：

设备良率：≥99.8%（来料不良除外）。

设备稼动率：≥99%；误检率：≤0.3%。

氦检标准：≤9.9×10-7Pa·m3/s。

4）其设备工艺流程如图49所示。

图49 设备工艺流程

5）关键结构：本设备由以下装置组成：工件进／出料机械手装置、箱体滑台、抽空／充氦装置、真空箱检漏装置、氦气充注排除装置、电气控制装置。从图48正压氦检设备布局图中可知，工件进／出料机械手装置、抽空／充氦装置等比较关键，对整个装配出来的半成品有至关重要的作用，选取其中几个机构做详细的介绍说明。

①检测转盘。检测转盘主要功能是电池一边上下料和一边检测，最大限度提高气密性检测仪的效用效率。该模块主要由转盘、凸轮分割器和检测夹具构成，如图50所示。