图5为分气装置整体结构示意图；

图6为实施例1制备产品的电镜图；

图7为实施例1制备产品应用于电池的测试性能变化图。

3）技术方案为解决上述串扰的问题，总体思路如下：该装置由升华沉积炉、气源系统、粉体收集器组成，将纳米硅基材料的制备与沉积碳包覆这两

道工序合二为一，集中在一台设备中进行，避免了前后道工序中间，因原料的转运，人员操作等一系列原因造成原料的浪费，杂质的带入等不利因

素；通过该工艺，升华室内升华出的SiOx蒸汽直接进入沉积室冷凝成纳米颗粒，分散于整个沉积室内，气源系统直接往沉积室内输入含有碳源气体

的工艺气体，碳源气体与硅基颗粒混合，并受热分解，直接在硅基颗粒上包覆一层沉积碳；通过该方式所制得的硅碳复合材料具有颗粒大小均匀，

一致性高，碳包覆层厚度均匀等优点。

4.4、实施说明：下面本实施例将采用上述结构和方法制备纳米硅碳负极材料。

1）实施例1：

(1)将硅粉与二氧化硅粉末以摩尔比1:0 .9混合均匀，完成后装入升华室内的装料 坩埚中，随后对整个装置进行排气抽真空，真空度为10Pa；

(2)对升华沉积炉进行加热，分别控制升华室1与沉积室2内的温度为1000℃与600 ℃；

(3)打开气源系统上的阀门，往沉积室2内通入工艺气体，其中乙炔的流量为10L/ h，氮气的流量为35L/h，氢气的流量为2L/h；

(4)反应完成后打开分气收集器6，即可得到表面包覆有碳层的纳米一氧化硅。  

2）实施例2：

(1)将硅粉与二氧化硅粉末以摩尔比1：1混合均匀后装入升华室内的装料坩埚中； 随后对整个装置抽真空，真空度为5Pa；

(2)对升华沉积炉进行加热，分别控制升华室与沉积室内的温度为1400℃与1200 ℃；

(3)打开气源系统上的阀门，往沉积室内通入工艺气体，其中天然气的流量为15L/h，氮气的流量为30L/h，氢气的流量为2L/h；

(4)反应完成后打开分气收集器6，即可得到表面包覆有碳层的纳米一氧化硅。  

3）对实施例1制备的产品进行检测，经测试该材料外层的碳包覆层完整严实，产品电镜如图6。用于电池测试，100％纯产品首次充放电效率高，可

达80％以上，循环性能优良，如图7。